廠務各系統需要監控的各項參數-1

nFAB

1.溫濕度感測

2.Particle量測

3.壓力 & 風速感測

4.毒氣監測

5.災害警報

6.機台異常監測

7.FFU異常

nSub-FAB

1.溫濕度感測

2.漏液偵測

3.管路壓力

4.毒氣監測

5.災害警報

6.機台異常監測

7.噪音監測

8.震動監測

nRoof (屋頂)

1.Cooling tower溫濕度感測

2.設備異常

3.漏液偵測

4.Exhaust PH值、風壓、風速

監測

5.VOC監測

nPower Station (電力站)

1.環境溫度感測

2.配電盤內溫度感測

3.電壓/電流監測

4.O2監測

5.設備異常

nGas Station (氣體站)

1.毒氣偵測

2.氣體壓力監測

3.氣體流量監測

nUPW (純水站)

1.設備異常

2.水質PH值監測

3.水質導電度監測

4.流量監測

5.液位監測

nWWT (廢水站)

1.設備異常

2.水質PH值監測

3.水質導電度監測

4.流量監測

5.液位監測

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